真空泵配件滤油机故障情况有如下几点：
1. 真空泵配件滤油机真空度降低产生原因：真空泵油不足，真空泵油有水污染，抽出气体中含水蒸汽过多，真空表指示不正确。消除方法：检修管路，补充真空泵油至油标线上更换新油属于正常现象。
2. 真空泵进油产生原因真空罐内油位高，油液吸入冷却器后被抽到真空泵内真空度过高，使进油量大于出油量。消除方法：适当控制进油量，使其油位在液位计中间位置 降低真空度 真空泵中油应放掉，清洗真空泵，更换真空泵油，重新工作时，控制油量，使进出油量达到平衡。
3. 真空泵进水产生原因：冷却器积水多，水被抽到真空泵内 处理的油中含水量较多，使其水蒸汽未能在冷却器中冷却成水而进入真空泵。消除方法：观察冷却器中的液位计，若水位较高，则应放掉，应清洗真空泵，更换真空泵油。
4. 启动加热器，油温不见升高产生原因：感温探头落出，加热接触器故障，电路断路，加热管烧坏。消除方法：固定感温探头检修或更换、检修，更换加热器。
