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真空泵油的扩散泵常见故障及原因

2017/12/14 10:00:44

由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响,真空泵油扩散泵的性能可能会逐渐变坏,现将使用中经常出现的一些问题如述如下; (1、极限真空变低原因:a.系统中有渗漏;b.系统太脏;c.真空泵油污染;d.加热功率不够;e.冷却水不足; f.过量或过冷的冷却水;g.前级压力高;检查密封……

由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响,真空泵油扩散泵的性能可能会逐渐变坏,现将使用中经常出现的一些问题如述如下;

 

(1、极限真空变低

原因:

a.系统中有渗漏;

b.系统太脏;

c.真空泵油污染;

d.加热功率不够;

e.冷却水不足;

 f.过量或过冷的冷却水;

g.前级压力高;检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象;

h.快冷管内有水。

 

(2)、抽气较慢

原因:

a.加热功率低;

b.油量不足;

c.喷帽安装位置不当或受损。

 

(3)、进口压力波动

原因:

a.加热器输入功率不当;

b.真空泵脱气;

c.扩散泵进口前面系统有渗漏。

 

(4)、工作腔污染大

原因:

a.前级压力高;

b.在高于10-1Pa压力下长期工作;

c.系统操作有误。

 

(5)、返油率过大:

原因:

a. 顶喷嘴帽松动,间隙过大;

b. 加热功率不对

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