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旋片式真空泵真空系统的简单架构

2017/10/28 9:12:31

一个真空系统,必须要有真空获得的设备和真空度的测量仪器。目前常用的真空获得设备主要有旋片式真空泵、水环式真空尖、滑阀式真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、离子溅射泵、升华泵等。真空测量仪器主要有U型真空计、热传导真空计、电离真空计等。随着电子技术和计算机技术的发展……

一个真空系统,必须要有真空获得的设备和真空度的测量仪器。目前常用的真空获得设备主要有旋片式真空泵、水环式真空尖、滑阀式真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、离子溅射泵、升华泵等。真空测量仪器主要有U型真空计、热传导真空计、电离真空计等。随着电子技术和计算机技术的发展,各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。各种真空测量设备与微型计算机相结合,具有数字显示、数据打印、自动监控和自动切换量程等功能。

什么是真空系统?用一句话来概括就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。真空系统设计的基本内容:是根据生产工艺流程或真空实验对真空度的要求,来选择适当的真空系统设计方案。先要确定真空度的使用要求、真空容器容量、抽气速率、所抽气体性质四个指标,然后再根据这四个指标进行选、配真空泵;最后确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等,进行合理配置,划出真空系统装配图和零部件图。  
  
  真空系统的简单构架  

  真空应用设备种类繁多,但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统,以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说:一个真空处理用的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,当真空泵对容器进行抽空时,容器上要有真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统。   
  最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度。当需要获得高真空范围内的真空度时,通常在真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、旋片真空泵入口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。

相关标签:真空泵配件,真空泵,旋片式真空泵

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