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爱发科真空泵油的工作原理

2017/10/17 10:48:39

  目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用爱发科真空泵油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作……

    目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用爱发科真空泵油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器;其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
  对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。 
  爱发科真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面: 
  1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 
  2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 
  3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求; 
  4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵; 
  5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

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