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真空泵油对极限压力的影响

2017/6/9 8:36:41

真空泵油的种类和成分对泵的极限压力影响很大,在结构相同的扩散泵中,如果使用3号扩散泵油,其极限压力只能达到10-5帕;而改用275号硅油,其极限压力能达到10-7帕,极限压力可降低两个数量级。真空系统中被抽气体的分压力也随真空泵油的不同而变化,这就是真空泵油成分所带来……

真空泵油的种类和成分对泵的极限压力影响很大,在结构相同的扩散泵中,如果使用3号扩散泵油,其极限压力只能达到10-5帕;而改用275号硅油,其极限压力能达到10-7帕,极限压力可降低两个数量级。
真空系统中被抽气体的分压力也随真空泵油的不同而变化,这就是真空泵油成分所带来的影响。例如,油扩散泵抽气系统中不加特殊措施很难获得较清洁的真空。
泵油的饱和蒸气压为了获取高真空,希望泵油在常温下有较低的饱和蒸气压。同时又要求泵在较高的出口压力下工作,希望泵油在锅炉温度下有较的饱和蒸气压。因此,豪可德真空科技最适合扩散泵工作的真空泵油其饱和蒸气压随温度变化的关系曲线的斜度要大。

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