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制氧、微电子系统用真空泵油

2017/5/24 9:04:23

全氟聚醚油,英文简称PFPE。它由碳、氧、氟原子组成,属于耐腐蚀性气体真空泵油分类中的ISO-6743A—1987\DVB、DVD、DVF类油品.该真空泵油碳氢键中的氢原子全部为氟原子取代,由其分子结构特点决定,具有绝佳的热稳定性、化学惰性、不燃性。当受到电子或离子轰击时,不产生聚合物……

全氟聚醚油,英文简称PFPE。它由碳、氧、氟原子组成,属于耐腐蚀性气体真空泵油分类中的ISO-6743A—1987\DVBDVDDVF类油品.该真空泵油碳氢键中的氢原子全部为氟原子取代,由其分子结构特点决定,具有绝佳的热稳定性、化学惰性、不燃性。当受到电子或离子轰击时,不产生聚合物,不与活性气体反应,具有优良的氧化安定性,热稳定性、化学试剂的惰性和不燃性。具有优良的抗臭氧、能够在VF6FPH3AsH3及其它卤素化合物(BF3BCIPCI3TiCI4SnCI4 SiCI4)等酸性气体存在的环境中保持稳定。甚至在高温下也有一定的抗腐蚀作用。与常规的真空泵油比较可在长时期内保持优良的性能。

   该类真空泵油为无色透明的液体,密度较大(可达1.95g/cm3,20℃时) 、粘度指数高、表面张力低、折射率低、倾点低。可用于有制氧系统和有腐蚀气体的半导体系统和强辐射的场合。

豪可德商城品牌有:英国爱德华;德国Leybold等。

用途:主要用于润滑涡轮分子泵轴承,可用于超净和安全的真空系统,如扫描发射电子显微镜、质普仪、粒子加速器、有腐蚀性气体的微电子真空系统。还可以用作扩散泵工作液。

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